近期，粉尘爆炸事件时有发生，再次敲响安全生产的警钟。影响粉尘爆炸的因素包括粉尘的性质、助燃物、着火点等等，禁止使用明火和控制粉尘浓度是常见的控制措施。环境健康安
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在半导体制作工艺中，50%以上的工序需要晶圆与超纯水直接接触，80%以上的工序需要进行化学处理，而化学处理又与超纯水有关，水中的杂质会进入晶圆，如果带入过量的杂
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