集成电路失效分析是通过技术手段定位芯片故障根源的过程,旨在提升产品可靠性。核心步骤包括:失效现象确认→非破坏性检测→缺陷定位→物理验证→改进建议。常用技术有X光检测、SEM(扫描电子显微镜)、FIB(聚焦离子束)等,广泛应用于消费电子、汽车电子等领域。
首先通过电性测试(如I-V曲线测量)和功能验证,明确芯片是开路、短路还是参数漂移。例如:手机芯片频繁死机,可能因电源管理模块漏电(漏电电流可通过参数分析仪捕获)。
使用X-RAY(X射线检测)观察封装内部结构,确认是否存在焊线断裂或分层;超声波扫描(C-SAM)检测芯片内部气泡或裂纹。这一步像给芯片做"B超",避免拆解导致二次损伤。
通过OBIRCH(光束诱导电阻变化)或EMMI(微光显微镜)技术,精准定位发热点或光发射异常区域。例如:某车载芯片在高温测试中失效,EMMI显示局部发光异常,提示该区域存在漏电路径。
用FIB(聚焦离子束)切割并提取微小样本,结合TEM(透射电镜)观察晶格缺陷。若发现金属层出现"晶须"(金属迁移现象),则需优化封装材料(晶须可能导致短路)。
根据分析结果,建议设计端调整电路布局,或工艺端改进钝化层厚度。例如:某LED驱动芯片因ESD(静电放电)失效,通过增加TVS(瞬态抑制二极管)保护电路解决问题。
失效分析如同芯片的"医疗诊断",需结合电、光、热多维度数据交叉验证。现代分析已实现纳米级缺陷定位(1nm精度),助力半导体行业良率提升。
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