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ISO14644-14自动化设备动态微粒子评估无尘室等级适用性

目前，半导体产业随着制程的精进都已发展到纳米级水平，换言之，只要一颗微尘粒子掉落在制程或线路中就有可能导致整批产品异常或报废，因此这些作业需要在洁净室内进行。不

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目前，半导体产业随着制程的精进都已发展到纳米级水平，换言之，只要一颗微尘粒子掉落在制程或线路中就有可能导致整批产品异常或报废，因此这些作业需要在洁净室内进行。不同制程对应不同等级的洁净室，不同的产业相对也会有不同等级的洁净室需求。设置洁净室的目的是为了能避免微尘粒子影响到产品。

随着产能的增加以及对出货的速度要求，自动化设备变成了一种趋势，不但广泛的应用在各种产业，多半都放在洁净室内且有的可能会与产品近距离的接触，如机械手臂、自动搬运车、线性滑轨、模块自动夹爪等，这些自动化设备所产生的微尘粒子就会直接影响产品的良率。

洁净室设备微粒浓度适用性的评估ISO14644-14

为有效管控无尘室的洁净度等级，ISO14644不再只针对环境进行测试要求，为避免设备运作时有可能产生发尘而直接影响污染产品风险，因此ISO14644-14提出对进入洁净室的各类机具设备进行其发尘量的等级评估。

例如，机械手臂、无人搬运车、各式滑台、夹爪都有可能置入洁净室进行搬运或夹取等作业，其在运转过程中有可能直接与产品进行接触，一但设备因热、擦而产生发尘，或因使用后而产生的静电效应造成微粒子吸附现象，不但会直接污染产品，甚至也可能会造成环境污染。

为避免设备运作产生发尘污染产品，需根据14644-14对进入洁净室的各类机具设备进行其发尘量的等级评估。

服务内容

客制化模拟试验

1. 测试环境符合比使用设备的洁净室或洁净区至少干净一个ISO N级（参照ISO14644-1等级）。
2. 气流速度垂直速度的指导范围符合在3m/s至0.5m/s的范围内。
3. 温度执行范围符合18°C至25°C内。
4. 湿度执行范围符合30%RH至70%RH。
5. 评估高颗粒浓度particle的测量位置。
6. 评估哪些位置应包括在最终测量。

解决方案

6.2.2 Requirements and considerations	要求和注意事项
6.2.3 Representative mode of operation	执行方式的代表性
6.2.4 Considerations for the test environment	测试环境的注意事项
6.2.5 Determination of the test environment	确定测试环境
6.2.6 Approximate identification of HPC location（s）	粗略HPC位置的标示
6.2.7 Precise determination of HPC location（s）	精确确定HPC位置
6.2.8 Suitability measurement（s）	适宜性测量
6.2.9 Data processing	数据处理
6.2.10 Reference to ISO 14644-1 classification system	参考ISO 14644-1分类
7 Documentation	文献资料
8 Statement on cleanroom suitability	洁净室适用性声明

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